发明名称 AN EXTRACTOR FOR AN MICROCOLOUM, AN ALIGNMENT METHOD FOR AN EXTRACTOR APERTURE TO AN ELECTON EMITTER, AND A MEASURING METHOD AND AN ALIGNMENT METHOD USING THEREOF
摘要
申请公布号 AU2003289574(A1) 申请公布日期 2004.07.22
申请号 AU20030289574 申请日期 2003.12.30
申请人 CEBT CO., LTD. 发明人 SEUNG JOON AHN;DAE WOOK KIM;HO SEOB KIM
分类号 G03F9/00;H01J3/02;H01J3/10;H01J37/06;H01J37/067;H01J37/15;(IPC1-7):H01J37/06 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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