| 发明名称 |
APPARATUS AND PROCESS FOR MEASURING ULTRAVIOLET (UV) LIGHT INTENSITIES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2003297951(A1) |
申请公布日期 |
2004.07.22 |
| 申请号 |
AU20030297951 |
申请日期 |
2003.12.16 |
| 申请人 |
AXCELIS TECHNOLOGIES INC. |
发明人 |
BETTY ZHANG;ALAN JANOS |
| 分类号 |
G01J1/42;G11C16/18;(IPC1-7):G01J3/51;G01J1/04;H01L21/336 |
主分类号 |
G01J1/42 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
