| 发明名称 |
DEVICE FOR GENERATING POWERFUL MICROWAVE PLASMAS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0885455(B1) |
申请公布日期 |
2004.07.21 |
| 申请号 |
EP19970906173 |
申请日期 |
1997.03.03 |
| 申请人 |
SPITZL, RALF |
发明人 |
SPITZL, RALF;ASCHERMANN, BENEDIKT |
| 分类号 |
H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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