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发明名称 Intergrated microstructures and a method of fabricating thereof
摘要
申请公布号 EP0822579(B1) 申请公布日期 2004.07.21
申请号 EP19960830437 申请日期 1996.07.31
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L. 发明人 FORONI, MARIO;FERRARI, PAOLO;VIGNA, BENEDETTO;VILLA, FLAVIO
分类号 G01L1/18;B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G01L9/00;G01P15/02;G01P15/08;H01L21/306;H01L21/764;H01L29/84;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/762 主分类号 G01L1/18
代理机构 代理人
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