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发明名称 METHOD FOR POST-ETCH AND STRIP RESIDUE REMOVAL ON CORAL FILMS
摘要
申请公布号 KR20040065312(A) 申请公布日期 2004.07.21
申请号 KR20047010160 申请日期 2002.12.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/768 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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