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发明名称 Sputter ion source
摘要
申请公布号 EP1396870(A3) 申请公布日期 2004.07.21
申请号 EP20030017996 申请日期 2003.08.07
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM ROSSENDORF E.V. 发明人 FRIEDRICH, MANFRED, DR.;TYRROFF, HORST, DR.
分类号 H01J27/04;(IPC1-7):H01J27/20;H01J27/22 主分类号 H01J27/04
代理机构 代理人
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