发明名称
摘要
申请公布号 JP3545364(B2) 申请公布日期 2004.07.21
申请号 JP20010197279 申请日期 2001.06.28
申请人 发明人
分类号 C23C16/42;C23C16/40;C23C16/509;H01L21/205;H01L21/312;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 C23C16/42
代理机构 代理人
主权项
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