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发明名称
摘要
申请公布号
JP3546169(B2)
申请公布日期
2004.07.21
申请号
JP20000156484
申请日期
2000.05.26
申请人
发明人
分类号
H01L29/41;H01L21/331;H01L29/165;H01L29/73;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331
主分类号
H01L29/41
代理机构
代理人
主权项
地址
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