发明名称 Arrangement and method for controlling a micromechanical element
摘要
申请公布号 GB0413341(D0) 申请公布日期 2004.07.21
申请号 GB20040013341 申请日期 2004.06.15
申请人 CAVENDISH-KINETICS B.V. 发明人
分类号 B81B3/00;G11C23/00;H01H1/00;H01H59/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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