低压化学气相淀积系统用可防止返油的水汽隔离油过滤器

摘要

本发明提供一种在低压化学气相淀积尾气处理系统中使用的可防止自身返油的水汽隔离油过滤器，采用进气空间多层隔离板附加挡油板及光滑表面金属丝的结构。正常工作时，气体可以自由通过，如果系统故障或误操作使出气端压力高于进气端，在返油过程中，油滴遇到挡油板阻拦，部分回落，部分存留于最低子空间，通过多级子空间，可消除油滴返入系统。对于油蒸汽，由于设计中采用进气空间中加入表面光滑的金属丝，气体中的油汽很容易在其表面凝聚滴落。这样可以有效地防止水汽隔离油过滤器自身返油。

主权项

1、一种用于低压化学气相淀积尾气处理系统中的水汽隔离油过滤器，是在密闭容器中加入定量的硅油，进入管插入油内，出气管在油液面上，其特征是将密闭容器(1)分为上下两部分，上半部分为进气空间，下半部分为出气与隔离、过滤空间，出气与隔离、过滤空间中盛有适量的低蒸汽压油；密闭容器(1)用多层隔离板(4)把进气空间分割成若干子空间，每一个隔离板(4)上开有通气孔(11)和出气管联接孔(12)，上盖板(3)上开有出气管联接孔(12)和进气管联接孔(13)，在通气孔(11)上方用三根等长的挡油板柱(14)支撑挡油板(7)，挡油板(7)尺寸大于通气孔(11)，进气管联接孔(13)同进气管(5)联接，上盖板(3)和隔离板(4)上的每一个出气管联接孔(12)同出气管(6)联接，最下面的隔离板(4)的通气孔(11)的下面联接有进气导管(8)，进气导管(8)的下端高于下底板(2)。