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发明名称 Method of recycling a dummy silicon wafer
摘要
申请公布号 EP1251553(B1) 申请公布日期 2004.07.21
申请号 EP20010109698 申请日期 2001.04.19
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES SC300 GMBH & CO. KG;INFINEON TECHNOLOGIES AG;MOTOROLA, INC. 发明人 BREEDEN, TERRY;TUCKER, MIKE;OTTOW, STEFAN;KOESTLER, WOLFRAM;WISSEL, DAN
分类号 H01L21/31;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/311;H01L21/314;H01L21/318;H01L21/461;H01L21/469;(IPC1-7):H01L21/314 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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