移除水中有机杂质之方法

摘要

除了涉及健康之外，三卤甲烷(trihalomethanes,THMs)系对于无法容许此种杂质的电子工业提出挑战。提供一种移除电子工业所使用之高纯水中THMs之方法。本发明之方法包括使高纯水与薄膜除气器接触，较佳为在超过45℃之温度下操作。