发明名称 VERFAHREN ZUR VERBESSERUNG EINES VAKUUMS IN EINEM HOCHVAKUUMSYSTEM
摘要
申请公布号 DE69817775(T2) 申请公布日期 2004.07.15
申请号 DE19986017775T 申请日期 1998.02.20
申请人 ORGANISATION EUROPEENNE POUR LA RECHERCHE NUCLEAIRE (CERN), GENF/GENEVE 发明人 BENVENUTI, CRISTOFORO
分类号 B01J3/00;C23C14/16;C23C14/56;C23C16/44;C23C28/02;C23C30/00;(IPC1-7):B01J3/00;H01J7/18 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
主权项
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