发明名称 |
VERFAHREN ZUR VERBESSERUNG EINES VAKUUMS IN EINEM HOCHVAKUUMSYSTEM |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69817775(T2) |
申请公布日期 |
2004.07.15 |
申请号 |
DE19986017775T |
申请日期 |
1998.02.20 |
申请人 |
ORGANISATION EUROPEENNE POUR LA RECHERCHE NUCLEAIRE (CERN), GENF/GENEVE |
发明人 |
BENVENUTI, CRISTOFORO |
分类号 |
B01J3/00;C23C14/16;C23C14/56;C23C16/44;C23C28/02;C23C30/00;(IPC1-7):B01J3/00;H01J7/18 |
主分类号 |
B01J3/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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