| 发明名称 |
HERSTELLUNGSVERFAHREN EINER HALBLEITERVORRICHTUNG MIT FLACHER GRABENISOLATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69824368(D1) |
申请公布日期 |
2004.07.15 |
| 申请号 |
DE19986024368 |
申请日期 |
1998.03.05 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN |
发明人 |
WOERLEE, HERMANUS |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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