发明名称 DIFFUNDIERUNG MIT FELDVERSTÄRKUNG UND OPTISCHER AKTIVIERUNG
摘要
申请公布号 DE69533136(D1) 申请公布日期 2004.07.15
申请号 DE19956033136 申请日期 1995.09.26
申请人 RHOMBIC CORP., PHOENIX 发明人 POPOVICI, GALINA;PRELAS, A.;SUNG, TALM;KHASAWINAH, S.
分类号 H01J9/02;H01L21/04;H01L21/22;H01L21/225;(IPC1-7):H01L21/225 主分类号 H01J9/02
代理机构 代理人
主权项
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