摘要 |
Phasenwechsel-Speicher-Bauelementestrukturen und Verfahren zu deren Herstellung werden angegeben. Der Phasenwechsel-Speicher enthält eine Struktur mit einer Elektrode, einem Haftmaterial und einem isolierenden Material zwischen der Elektrode und dem Haftmaterial, wobei ein Teil des Haftmaterials, ein Teil des isolierenden Materials und ein Teil der Elektrode ein im wesentlichen planare Oberfläche bilden. Auf der im wesentlichen planaren Oberfläche ist eine Schicht eines Phasenwechselmaterials aufgebracht, die mit der Elektrode, dem Haftmaterial und dem isolierenden Material in Kontakt tritt.
|