发明名称 METHOD FOR PRODUCING MULTILAYER SEMICONDUCTOR STRUCTURE
摘要
申请公布号 UA67914(A) 申请公布日期 2004.07.15
申请号 UA20030043307 申请日期 2003.04.14
申请人 ZUIEVA TETIANA KOSTIANTYNIVNA;POLUKHIN OLEKSII STEPANOVYCH 发明人 ZUIEVA TETIANA KOSTIANTYNIVNA;POLUKHIN OLEKSII STEPANOVYCH;SOLODOVNYK ANATOLII IVANOVYCH
分类号 H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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