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发明名称 Vorrichtung zur Exposition der peripheren Fläche eines Halbleiter-Wafers
摘要
申请公布号 DE69824372(D1) 申请公布日期 2004.07.15
申请号 DE19986024372 申请日期 1998.11.25
申请人 USHIODENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 MIURA, SHINETSU;MIMURA, YOSHIKI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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