发明名称 Halbleiterspeicherzelle und Verfahren zum Herstellen derselben
摘要
申请公布号 DE4443968(B4) 申请公布日期 2004.07.15
申请号 DE19944443968 申请日期 1994.12.09
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 MAEDA, SHIGENOBU;INOUE, YASUO;KURIYAMA, HIROTADA;MAEGAWA, SHIGETO;KANAMOTO, KYOZO;IWAMATSU, TOSHIAKI
分类号 H01L27/10;H01L21/77;H01L21/8242;H01L21/84;H01L27/06;H01L27/108;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
地址