发明名称 Halbleiterbauelement und Verfahren zu seiner Herstellung
摘要
申请公布号 DE69629325(T2) 申请公布日期 2004.07.15
申请号 DE1996629325T 申请日期 1996.02.07
申请人 NGK INSULATORS, LTD. 发明人 TERASAWA, YOSHIO
分类号 H01L21/18;H01L21/329;H01L21/331;H01L21/332;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/739;H01L29/744;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/18 主分类号 H01L21/18
代理机构 代理人
主权项
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