发明名称 Position measuring sensor for mutually aligning objects
摘要
申请公布号 EP0928951(B1) 申请公布日期 2004.07.14
申请号 EP19990100517 申请日期 1999.01.13
申请人 PRUEFTECHNIK DIETER BUSCH AG 发明人
分类号 G01B21/24;G01C21/16;(IPC1-7):G01B21/24 主分类号 G01B21/24
代理机构 代理人
主权项
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