| 发明名称 |
Ion implanter and method for controlling the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB0413088(D0) |
申请公布日期 |
2004.07.14 |
| 申请号 |
GB20040013088 |
申请日期 |
2004.06.11 |
| 申请人 |
SUMITOMO EATON NOVA CORPORATION |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/48;H01J37/18;H01J37/304;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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