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发明名称 Method of manufacturing capacitor for semiconductor memory device
摘要
申请公布号 GB2358284(B) 申请公布日期 2004.07.14
申请号 GB20000015991 申请日期 2000.06.29
申请人 * HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 KWANG CHUL * JOO;KEE JEUNG * LEE;IL KEOUN * HAN
分类号 C23C16/40;H01L21/02;H01L21/316;H01L21/321;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/02;H01L21/824 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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