| 发明名称 |
STRESS-FREE COMPOSITE SUBSTRATE AND METHOD OF MANUFACTURING SUCH A COMPOSITE SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003280168(A1) |
申请公布日期 |
2004.07.14 |
| 申请号 |
AU20030280168 |
申请日期 |
2003.11.20 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
JAN HAISMA |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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