发明名称 |
双层减反射膜氧化钛/氧化钇退膜方法 |
摘要 |
本发明属于太阳电池技术领域。双层减反射膜氧化钛/氧化钇退膜方法,包括以下工艺过程:(1)将有双层减反射膜氧化钛/氧化钇的电池浸入浓度为95%以上的浓硫酸2-6秒退膜,然后,用去离子水冲洗6-8遍;(2)再浸入体积比HF∶H<SUB>2</SUB>O=1∶4-1∶10的氢氟酸中退膜,退膜时间为3-10秒,然后,用去离子水冲洗6-8遍;(3)电池脱水干燥。本发明既能完全将氧化钛/氧化钇双层减反射膜退除干净,又不影响电池的重新镀膜使用,而且工艺操作简单、易控制、成本低,产品质量稳定。本发明尤其适用于充氧原因造成的不合格氧化钛/氧化钇膜电池退膜。 |
申请公布号 |
CN1512598A |
申请公布日期 |
2004.07.14 |
申请号 |
CN02159145.8 |
申请日期 |
2002.12.30 |
申请人 |
中国电子科技集团公司第十八研究所 |
发明人 |
刘汉英 |
分类号 |
H01L31/18;C23C14/08;C23C14/34;C23C14/58 |
主分类号 |
H01L31/18 |
代理机构 |
天津市鼎和专利商标代理有限公司 |
代理人 |
崔继民 |
主权项 |
1.双层减反射膜氧化钛/氧化钇退膜方法,将双层减反射膜浸入酸后,再用水清洗,其特征在于退膜方法包括以下工艺过程:(1)将有双层减反射膜氧化钛/氧化钇的电池浸入硫酸中退膜,然后,用去离子水冲洗;(2)再浸入体积比HF∶H2O=1∶4-1∶10的氢氟酸中退膜,退膜时间为3-10秒,然后,用去离子水冲洗;(3)电池脱水干燥。 |
地址 |
300381天津市南开区李七庄凌庄子道18号 |