| 发明名称 |
METHOD FOR THE TREATMENT OF A RESIST SYSTEM AND CORRESPONDING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003296546(A1) |
申请公布日期 |
2004.07.14 |
| 申请号 |
AU20030296546 |
申请日期 |
2003.12.16 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
WOLF-DIETER DOMKE;KARL KRAGLER;KLAUS LOWACK;SIEGFRIED SCHWARZL |
| 分类号 |
G03F7/039;G03F7/38;(IPC1-7):G03F7/38 |
主分类号 |
G03F7/039 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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