微型高效宽光谱换能器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种微型高效宽光谱换能器，属于能量转换技术领域。该换能器包括半导体衬底、扩散层、高渗杂层，以及分别从衬底和高浓度离子注入层引出的电极，半导体衬底和扩散层形成单PN结，此外夹在衬底与高渗杂层之间、形成双PN结的离子注入层。高渗杂层覆盖离子注入层，使离子注入层厚度在1nm-100nm之间，两个以上的双PN结区域从端头半导体衬底与扩散层形成的单PN结区域延伸，并与单PN结的延伸区域相间，构成栅栏状结构。本发明可以将光能、辐射热能以及光电转换过程中的热能均高效率地转换成电能，加之其吸收光谱宽、噪音低、开关速度快的特性，十分适合于在通信以及光电子对抗等诸多领域推广应用。

主权项

1.一种微型高效宽光谱换能器，包括半导体衬底、扩散层，以及从衬底引出的电极，半导体衬底和扩散层形成单PN结，其特征在于：还含有高掺杂层和离子注入层，所述离子注入层夹在衬底与高掺杂层之间，形成双PN结，所述高掺杂层引出电极，并覆盖离子注入层，使离子注入层厚度在1nm-100nm之间，两个以上的双PN结区域位于底部半导体衬底与扩散层形成的单PN结区域之间，并与所述单PN结区域相间，构成栅栏状结构。