发明名称 | 红外传感器及其制造方法 | ||
摘要 | 一种红外传感器(2),包括多个具有红外光结构的吸收层(20)的像素(12),该结构层处于传感器的上表面上。根据本发明,吸收层(20)是由胶质微粒形成的,尤其是浸入或凝结在粘结剂中的石墨小薄片或金属氧化物。设计形成结构层要同时利用常规技术沉积含有胶质微粒的分散体吸收层,然后再局部去除如此形成的吸收层,以便获得多个基本吸收区,这些吸收区分别与多个像素连接。 | ||
申请公布号 | CN1513213A | 申请公布日期 | 2004.07.14 |
申请号 | CN01823336.8 | 申请日期 | 2001.06.08 |
申请人 | IR微系统股份有限公司 | 发明人 | M·科利;A·赛费尔特;B·维林 |
分类号 | H01L37/02;G01J5/34 | 主分类号 | H01L37/02 |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 吴立明;张志醒 |
主权项 | 1.制备至少一种红外传感器(2)的方法,其中有一个在基片(24)上表面上形成结构性红外光吸收层的步骤,在该基片中局部地形成了所述至少一个红外传感器的多个像素(12),其特征在于,在该结构吸收层的形成步骤中,沉积一种胶质微粒的分散体,从而形成一种覆盖所述基片的吸收层,然后局部地去除所述吸收层以便形成多个基本吸收区(20),它们分别与所述多个像素连接并且确定所述结构层。 | ||
地址 | 瑞士洛桑 |