发明名称 Tubular sputtering target
摘要
申请公布号 EP1097766(B1) 申请公布日期 2004.07.14
申请号 EP20000120058 申请日期 2000.09.15
申请人 W.C. HERAEUS GMBH & CO. KG 发明人 BACH, OTTO;BOHMEIER, HANS, DR.;HECK, RALF;LUPTON, DAVID, DR.
分类号 B22D13/02;C23C14/34;(IPC1-7):B22D13/02 主分类号 B22D13/02
代理机构 代理人
主权项
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