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发明名称
摘要
申请公布号 JP3542376(B2) 申请公布日期 2004.07.14
申请号 JP19940070396 申请日期 1994.04.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/18;H01L21/02;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L21/18
代理机构 代理人
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