| 发明名称 | 基板缺陷检知装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种缺陷检知装置，适用于一基板，包括：一本体、一限制部以及一检知机构。其中，限制部设置在该本体上，通过限制部与基板抵接，使基板位于一基板检测位置。又，检知机构设置于本体内，当基板到达前述基板检测位置时，检知机构位于基板的角落处，此时通过检知机构可检知该基板角落的缺陷。 | ||
| 申请公布号 | CN1512555A | 申请公布日期 | 2004.07.14 |
| 申请号 | CN02159824.X | 申请日期 | 2002.12.27 |
| 申请人 | 友达光电股份有限公司 | 发明人 | 黄钲琅;陈殷绪;韩家仁 |
| 分类号 | H01L21/66 | 主分类号 | H01L21/66 |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 陈小雯;肖鹂 |
| 主权项 | 1.一种缺陷检知装置，适用于一基板，包括：一本体；一限制部，设置于该本体上，使该基板静止于一基板检测位置；至少一检知机构，设置于该本体内，当该基板位于一基板检测位置时，该检知机构位于该基板的角落处，以及该检知机构包括一光传感器，设置于该检知机构内，当该基板位于该基板检测位置时，该检知机构通过该光传感器检知该基板角落的缺陷。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹市 | ||