发明名称
摘要
申请公布号 JP3542138(B2) 申请公布日期 2004.07.14
申请号 JP19980524123 申请日期 1997.11.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/82;G06F17/50;G06F19/00;(IPC1-7):G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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