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发明名称
摘要
申请公布号	JP3542154(B2)	申请公布日期	2004.07.14
申请号	JP19930349012	申请日期	1993.12.28
申请人		发明人
分类号	G01J1/44;H01L27/146;H04N5/335;H04N5/365;H04N5/369;H04N5/3745;(IPC1-7):H04N5/335	主分类号	G01J1/44
代理机构		代理人
主权项
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