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发明名称 METHOD FOR SAMPLE SEPARATION AND LIFT-OUT
摘要
申请公布号 EP1436601(A1) 申请公布日期 2004.07.14
申请号 EP20010945982 申请日期 2001.05.23
申请人 OMNIPROBE, INC. 发明人 MOORE, THOMAS, M.;KRUGER, ROCKY, D.;HARTFIELD, CHERYL
分类号 H01L21/67;G01N21/86;(IPC1-7):G01N21/86 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
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