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发明名称 SUBSTRATE SUPPORT
摘要
申请公布号 EP1436829(A2) 申请公布日期 2004.07.14
申请号 EP20020801637 申请日期 2002.09.24
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 WHITE, JOHN, M.;HOSOKAWA, AKIHIRO
分类号 H01L21/683;H01L21/205;H01L21/673;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
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