利用酸的垂直转移进行平版印刷成像的方法

摘要

本发明提供了用于在正色调或负色调化学增强光致抗蚀剂中形成图象的方法。本发明方法依赖于底层的以图案成像方式产生的光致酸的垂直向上的扩散，所述底层沉积在基质上并用含有对酸不稳定的官能团的聚合物覆盖。根据本发明，垂直向上扩散可以是图象形成的唯一机理，或者本发明方法可以与常规成像方法结合使用。

主权项

1.一种平版印刷方法，包括：在基质表面上沉积下层，所述下层包含(i)光致酸生成剂和(ii)包括至少有机聚合物和无机基质材料之一的聚合物材料；照射下层，以在下层的整个图案区域生成酸；和将下层中形成的图案转移到在所述下层上面的层，所述转移包括将酸从下层垂直转移到上层，来实质性地提高整个上层中的酸密度，其中上层中含有足够的酸以允许上层进行平版印刷成像，并且选择光致酸生成剂以提高所述的垂直转移。