发明名称 GROUP III NITRIDE SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR20040063171(A) 申请公布日期 2004.07.12
申请号 KR20047009134 申请日期 2002.12.26
申请人 发明人
分类号 C30B29/38;H01L33/00;C30B25/02;C30B25/18;H01L21/20;H01L21/205;H01L33/12;H01L33/32;H01S5/323 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
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