| 发明名称 |
DISPOSITIF ET PROCEDE DE CONTROLE AUTOMATIQUE DE L'ETAT DE SURFACE DE PLAQUE PAR MESURE DE VITESSE DE COLLAGE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2839147(B1) |
申请公布日期 |
2004.07.09 |
| 申请号 |
FR20020005427 |
申请日期 |
2002.04.30 |
| 申请人 |
S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES |
发明人 |
MALEVILLE CHRISTOPHE;METRAL FREDERIC |
| 分类号 |
H01L21/66;G01B11/30;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):G01B11/30 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
