发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING THICKNESS OF A TEST OBJECT BETWEEN TWO EDDY CURRENT SENSOR HEADS
摘要
申请公布号 AU2003293526(A1) 申请公布日期 2004.07.09
申请号 AU20030293526 申请日期 2003.12.12
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 QUYEN PHAM;YU, PING GU;JOEL HUSTON;PAUL SMITH;G., LAURIE MILLER;LAWRENCE, C. LEI;SIQING LU;YU CHANG;CECILIA MARTNER
分类号 G01B7/06;G01N27/72 主分类号 G01B7/06
代理机构 代理人
主权项
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