发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF D'AMINCISSEMENT D'UNE PLAQUETTE DE CIRCUIT INTEGRE |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2830682(B1) |
申请公布日期 |
2004.07.09 |
申请号 |
FR20010012792 |
申请日期 |
2001.10.04 |
申请人 |
CENTRE NATIONAL D'ETUDES SPATIALES |
发明人 |
DESPLATS ROMAIN;BEAUDOIN FELIX |
分类号 |
H01L21/304;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/14;G05B19/19 |
主分类号 |
H01L21/304 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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