发明名称 PROCEDE ET DISPOSITIF D'AMINCISSEMENT D'UNE PLAQUETTE DE CIRCUIT INTEGRE
摘要
申请公布号 FR2830682(B1) 申请公布日期 2004.07.09
申请号 FR20010012792 申请日期 2001.10.04
申请人 CENTRE NATIONAL D'ETUDES SPATIALES 发明人 DESPLATS ROMAIN;BEAUDOIN FELIX
分类号 H01L21/304;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/14;G05B19/19 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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