| 发明名称 |
CVD PROCESS TO DEPOSIT ALUMINUM OXIDE COATINGS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002357195(A1) |
申请公布日期 |
2004.07.09 |
| 申请号 |
AU20020357195 |
申请日期 |
2002.12.12 |
| 申请人 |
TRUSTEES OF BOSTON UNIVERSITY |
发明人 |
VINOD, K. SARIN |
| 分类号 |
B32B19/00;C23C16/40;C23C16/448;(IPC1-7):C23C16/40 |
主分类号 |
B32B19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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