发明名称 PLASMA DEVICE AND PLASMA GENERATING METHOD
摘要
申请公布号 KR20040062870(A) 申请公布日期 2004.07.09
申请号 KR20037009440 申请日期 2003.07.15
申请人 发明人
分类号 H05H1/46;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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