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经营范围
发明名称
PLASMA DEVICE AND PLASMA GENERATING METHOD
摘要
申请公布号
KR20040062870(A)
申请公布日期
2004.07.09
申请号
KR20037009440
申请日期
2003.07.15
申请人
发明人
分类号
H05H1/46;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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