| 发明名称 |
RESISTOR STRUCTURES TO ELECTRICALLY MEASURE UNIDIRECTIONAL MISALIGNMENT OF STITCHED MASKS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2003283692(A1) |
申请公布日期 |
2004.07.09 |
| 申请号 |
AU20030283692 |
申请日期 |
2003.12.04 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
JOSEPH, M. AMATO |
| 分类号 |
G01R31/28;G03F7/20;(IPC1-7):G03F9/00;H01L23/544;G01R31/316 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
