Verfahren zum Herstellen einer integrierten Schaltungsanordnung, die eine Metallnitridschicht enthält, und integrierte Schaltungsanordnung

摘要

Erläutert wird unter anderem ein Verfahren, bei dem eine Titannitridschicht nass-chemisch entfernt wird (106). Nach dem Entfernen des Titannitrids werden weitere Metallisierungslagen erzeugt (114). Es entsteht eine integrierte Schaltungsanordnung mit Verbindungen, die einen geringen elektrischen Widerstand haben. Die Schaltungsanordnung ist insbesondere zum Schalten großer Leistungen geeignet.