发明名称 Vertikale MISFET-Bauelemente, CMOS-Prozessintegration, RAM-Anwendungen
摘要
申请公布号 DE69629760(T2) 申请公布日期 2004.07.08
申请号 DE19966029760T 申请日期 1996.06.17
申请人 INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM VZW, LEUVEN-HEVERLEE 发明人 AUGUSTO, CARLOS JORGE RAMIRO PROENCA
分类号 H01L29/78;B82B1/00;H01L21/8238;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/092;H01L27/105;H01L27/108;H01L27/11;H01L29/10;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/10;H01L21/823 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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