发明名称 |
Vertikale MISFET-Bauelemente, CMOS-Prozessintegration, RAM-Anwendungen |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69629760(T2) |
申请公布日期 |
2004.07.08 |
申请号 |
DE19966029760T |
申请日期 |
1996.06.17 |
申请人 |
INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM VZW, LEUVEN-HEVERLEE |
发明人 |
AUGUSTO, CARLOS JORGE RAMIRO PROENCA |
分类号 |
H01L29/78;B82B1/00;H01L21/8238;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/092;H01L27/105;H01L27/108;H01L27/11;H01L29/10;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/10;H01L21/823 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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