| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Detektion einer Oberflächenlage und Verfahren und Vorrichtung zur Abtastbelichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69632615(D1) |
申请公布日期 |
2004.07.08 |
| 申请号 |
DE19966032615 |
申请日期 |
1996.07.30 |
| 申请人 |
CANON K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
YAMADA, YUICHI;UZAWA, SHIGEYUKI |
| 分类号 |
G03F7/20;G03F7/207;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F9/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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