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发明名称 CHEMISCHE-MECHANISCHE AUFSCHLÄMMUNGSFORMULIERUNG ZUM POLIEREN UND VERFAHREN FÜR DÜNNE WOLFRAM- UND TITANFILME
摘要
申请公布号 DE69818437(T2) 申请公布日期 2004.07.08
申请号 DE19986018437T 申请日期 1998.03.26
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 AVANZINO, C.;WOO, MEI-CHU;SCHONAUER, MARIE;BURKE, AUSTIN
分类号 C09G1/02;C09K3/14;H01L21/321;(IPC1-7):C09G1/02 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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