发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Steuern des Beladens/Entladens von Halbleiterbauelementen
摘要
申请公布号 DE19962703(B4) 申请公布日期 2004.07.08
申请号 DE19991062703 申请日期 1999.12.23
申请人 MIRAE CORP., CHUNAN 发明人 SONG, JAE MYUNG
分类号 H01L21/677;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/00;H01L21/66;(IPC1-7):B65G49/05;B65G47/91 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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