无阀薄膜驱动型微泵

摘要

本实用新型公开了一种无阀薄膜驱动型微泵，该微泵是一种单膜双腔结构，双腔中间由基底膜与功能膜构成的驱动膜完全隔离，每个泵腔通过各自的锥形扩散管与进水孔相连，通过各自的锥形收缩管与出水孔相连。本实用新型采用单膜双腔结构，利用信号控制两个腔体容积的变化，使两个腔体容积变化得到实时互补，输出流量稳定，且具有结构及制备工艺简单、响应快、驱动频率宽、可控性强、能耗低、寿命长等特点。此外，本实用新型可采用微细加工和微机械技术相兼容的材料和工艺制造，具有体积小、成本低、容易和其它微检测和微控制元件集成等特点，适应于大批量生产，具有可观的应用前景。

主权项

1.一种无阀薄膜驱动型微泵，其特征在于：在上泵体(1)上开有上泵腔(4)、锥形扩散管(3)、锥形收缩管(7)、左侧水孔(2)及右侧水孔(8)，上泵腔(4)通过扩散管(3)与左侧水孔(2)相连，通过收缩管(7)与右侧水孔(8)相连，在上泵体(1)的下面有下泵体(13)，在下泵体(13)上开有相应的下泵腔(11)、锥形扩散管(12)、锥形收缩管(10)及相应的左侧水孔(2)、右侧水孔(8)，下泵腔(11)通过扩散管(12)与左侧水孔(2)相连，通过收缩管(10)与右侧水孔(8)相连，上、下泵腔(4)、(11)由基底膜(5)与功能膜(6)构成的驱动膜隔离，两个扩散管(3)、(12)与两个收缩管(7)、(10)的锥形角度均相等。