具有等离子体激励线圈用的电流传感器的感应等离子体处理器

摘要

感应等离子体处理器包括具有多个绕组的RF等离子体激励线圈，每个绕组包括并联连接由单个RF源通过单个匹配网络驱动的第一端。绕组的第二端由终端电容器接地，该电容器依次由影响接地。包括绕环形核的绕组的电流传感器耦合到每个终端电容器和地之间的引线。电流传感器由接地的屏环绕。从周围的RF环境到电流传感器具有最小的电磁干扰以便提供精确的电流传感器。

主权项

1.一种感应等离子体处理器，其特征在于，包括：具有绕组的RF等离子体激励线圈，该绕组有输入端和输出端，其一端连接在与匹配网络及RF源串联的支路上，而其第二端具有接地的引线使得与流过绕组输出端的同一电流流过所述引线；耦合到所述引线的电流传感器；以及与所述电流传感器耦合的接地屏，它用于屏蔽周围RF环境的电磁干扰。